■５．多機能小型真空室（ＳＵＳ製）ＭＰＶＣ−００１

本真空室を標準として単品販売します。また、研究内容による設計製作の御希望にお応えします。

• ■基本仕様
• サイズ：３５０×３５０× ２８０、４００×４３０×４５０ 、４００×４３０×５６０
• 材質：ＳＵＳ３０４
• 標準：真空室本体、上面フランジ、下面フランジ、のぞき窓

• ■オプション：ご要望により設計いたします。
• １）マニプレータ：基板サイズ５０ｍｍ角ガラス基板
  　　　　　　　　　基板加熱機構：３００℃
  　　　　　　　　　基板上下移動機構（移動距離要設計可能）
  
• ２）排気系：約３００Ｌ／Ｓターボ分子ポンプ、２４０Ｌ／ｍ　ドライポンプを想定。
  　　　　　（ご希望にクライオポンプもご利用できます。）
  
• ３）マグネットカップリングロードロック室
• ４）特殊電解研磨処理