■小型有機機能薄膜蒸着装置
■1-1 多機能実験装置

• １．次世代薄膜ﾌﾟﾛｾｽ研究開発支援用実験装置です。
• ２．お客様の研究用途に応じ各種ﾌﾟﾛｾｽ室のﾓｼﾞｭｰﾙ化で装置構成の選択が可能です。
• ３．ﾌﾟﾛｾｽ室4室接続時の装置ﾌｯﾄﾌﾟﾘﾝﾄは1500mmx1800mmです。狭い実験室ｽﾍﾟｰｽにも設置ができます。
• ４．トランスファーケースを用いることにより、基板を大気に晒されることなく、L/UL室に挿入、取り出しができます。真空に維持されたトランスファーケースは、そのまま、グローボックに移動可能です。
• ５．超コンパクト型に開発されたキュービックゲートバルブは搬送室とプロセス室を隔離に使用します。キュービックゲートバルブはシール方向を選択することにより、正圧、逆圧に対応できます。
• ６．有機材料蒸着室には、0.3gの材料で5時間以上蒸着可能な、省エネ型小型有機材料用蒸発源が最大9式搭載可能です。